特許

J-GLOBAL ID：200903027670277985

積層型圧電素子及びそれを用いる装置、並びに、積層型圧電素子の製造方法

発明者： 三好 哲
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-241119
公開番号（公開出願番号）：特開2007-059525
出願日： 2005年08月23日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】 圧電体層及び内部電極層の積層体と、その側面に形成された絶縁膜とが剥離し難い積層型圧電素子を提供する。 【解決手段】 複数の圧電体層10と複数の電極層11a及び11bとが交互に配置された積層体と、該積層体の第1の側面領域において、電極層11aの端面の少なくとも一部に圧電材料によって形成された絶縁膜14aと、上記積層体の第1の側面領域とは異なる第2の側面領域において、電極層11aと交互に配置された第2の電極層11bの端面の少なくとも一部に圧電材料によって形成された絶縁膜14bと、第1の側面領域に形成された側面電極であって、絶縁膜14aによって電極層11aから絶縁されると共に、電極層11bと電気的に接続された側面電極15aと、第2の側面領域に形成された側面電極であって、絶縁膜14bによって電極層11bから絶縁されると共に、電極層11aと電気的に接続された側面電極15bとを含む。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の圧電体層と複数の電極層とが交互に配置された積層体と、 前記積層体の第1の側面領域において、前記複数の電極層の内の第1の電極層の端面の少なくとも一部に、圧電材料によって形成された第1の絶縁膜と、 前記積層体の第1の側面領域とは異なる第2の側面領域において、前記複数の電極層の内の前記第1の電極層と交互に配置された第2の電極層の端面の少なくとも一部に、圧電材料によって形成された第2の絶縁膜と、 前記第1の側面領域に形成された側面電極であって、前記第1の絶縁膜によって前記第1の電極層から絶縁されると共に、前記第2の電極層と電気的に接続された第1の側面電極と、 前記第2の側面領域に形成された側面電極であって、前記第2の絶縁膜によって前記第2の電極層から絶縁されると共に、前記第1の電極層と電気的に接続された第2の側面電極と、 を具備する積層型圧電素子。

IPC (4件)：

H01L 41/083 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

H01L41/08 S ,  H01L41/08 P ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 B ,  H01L41/22 Z