特許
J-GLOBAL ID:200903027672790450

帯電物の除電方法及び帯電物の除電装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小林 十四雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-341040
公開番号(公開出願番号):特開平7-161485
出願日: 1993年12月10日
公開日(公表日): 1995年06月23日
要約:
【要約】【目的】 発塵をなくしてダストによる汚染を確実に防止するとともにイオンバランスの安定化を図る。【構成】 帯電物Tに向けて紫外線を照射する紫外線ランプ1を設け、この紫外線ランプ1の帯電物Tに対向する部分の周囲を反射膜6で覆って該帯電物Tに対向する部分に紫外線が照射される窓部7を形成し、帯電物Tに対向する開放部26を有し紫外線ランプ1を覆うカバー20設け、このカバー20内に酸素を含まない気体を供給する非酸素気体供給部30を備えた。これにより、紫外線ランプ1からの紫外線の照射により、酸素を含まない気体がイオン化され、あるいは、帯電物T内の過剰な電子が放出させられ、あるいはまた、紫外線ランプ1の表面から電子が放出させられ、静電気が帯電した帯電物Tが除電されていく。この場合、紫外線の照射によるので、発塵源がなく、また、オゾンの発生も抑止される。
請求項(抜粋):
帯電物に対して紫外線照射体から紫外線を照射して上記帯電物の除電を行なうことを特徴とする帯電物の除電方法。
IPC (2件):
H05F 3/06 ,  H01L 23/00
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭58-197697

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