特許
J-GLOBAL ID:200903027674181664

高集積光学素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-349363
公開番号(公開出願番号):特開平11-183706
出願日: 1997年12月18日
公開日(公表日): 1999年07月09日
要約:
【要約】【課題】本発明は、レンズ形状の精度を高くする。【解決手段】ガラス基板1上に、格子状でその断面が略半円柱状のレジストパターン10aから成る第1の層と、この第1の層におけるレジストパターン10aの各交点上にそれぞれ形成された略矩形形状で表面が曲面状のレジストパターン10bから成る第2の層とから成るマイクロレンズアレイを作製する。
請求項(抜粋):
光透過性の基板と、この基板上に略半円柱状の光透過部材を交叉させて形成した第1の層と、この第1の層における前記光透過部材の前記交叉させている部位にそれぞれ形成された略矩形形状で表面が曲面状の光透過部材から成る第2の層と、から形成されたことを特徴とする高集積光学素子。
IPC (3件):
G02B 3/00 ,  B29D 11/00 ,  B29K101:12
FI (2件):
G02B 3/00 A ,  B29D 11/00

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