特許
J-GLOBAL ID：200903027678366090
転写マスクの接合方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-172710
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005984
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 転写マスクとマスクホルダーとの接合を位置合わせ精度良く高歩留まりで容易に行うことのできる転写マスクの接合方法を提供する。【構成】 マスクホルダー2の貫通部分1に対応した開口部4を有する低融点金属材料からなる低融点金属箔5を、転写マスク6とマスクホルダー2の間に介在させ、加熱により低融点金属箔5を溶融後冷却して、転写マスク6とマスクホルダー2とを接合する。
請求項（抜粋）：
マスクホルダーの貫通部分に対応した開口部を有する低融点金属材料からなる金属箔を、転写マスクとマスクホルダーの間に介在させ、加熱により金属箔を溶融後冷却して、転写マスクとマスクホルダーとを接合することを特徴とする転写マスクの接合方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 M
, H01L 21/30 541 S
