レジスト現像装置における現像液吐出ノズル及び現像液吐出方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-236312
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058435
出願日： 1998年08月07日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】ウエハの口径が12インチ以上と大口径化した場合であっても、現像液をウエハに吐出した際、発生する空気の巻き込む気泡問題を無くすると共にノズルからの液垂れを皆無とし、歩どまりを向上させる。【解決手段】ノズルは、中央部に穴径の大きい一つの吐出口と、この吐出口周辺部に複数個の穴径の小さい吐出口を設けて構成する。この中央部の穴径の大きい一つの吐出口の内径は、2mmから6mmよりなり一方、周辺部の複数個の穴径の小さい吐出口の内径は、0.1mmから0.5mmより構成する。現像液を、ウエハ上に塗布するに際し、先ず、ノズルの中央設けた穴径の大きい一つの吐出口から現像液を吐出せしめる。現像液は、ウエハ上のほぼノズル全面に拡散する。次に、ノズルの中央部の吐出口の現像液の吐出を停止せさせる。しかる後、周辺部の複数個の穴径の小さい吐出口から現像液を吐出し、ウエハ全面に現像液を拡散して塗布するようにした。

請求項（抜粋）：

レジスト現像装置における現像液吐出ノズルにおいて、中央部に穴径の大きい一つの吐出口と、この吐出口周辺部に複数個の穴径の小さい吐出口とを備えたことを特徴とするレジスト現像装置における現像液吐出ノズル。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , G03F 7/30 501

FI (4件)：

H01L 21/30 569 F , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , G03F 7/30 501

Fターム (19件)：

2H096AA25 , 2H096GA30 , 2H096GA31 , 4D075AC64 , 4D075BB57Z , 4D075CA48 , 4D075DA08 , 4D075DB14 , 4D075DC22 , 4D075EA45 , 4F041AA05 , 4F041AA16 , 4F041AB01 , 4F041BA05 , 4F041BA13 , 4F041BA54 , 4F041BA56 , 5F046LA03 , 5F046LA04

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