特許
J-GLOBAL ID:200903027683718824
回折光学素子及びそれを用いた光学系
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高梨 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-217104
公開番号(公開出願番号):特開平11-044808
出願日: 1997年07月28日
公開日(公表日): 1999年02月16日
要約:
【要約】【課題】 高い回折効率が広範囲の波長域において得られる製造が容易な回折光学素子及びそれを用いた光学系を得ること。【解決手段】 少なくとも2種類の分散の異なる材質からなる層を複数基盤上に積層し、使用波長領域全域で特定次数(設計次数)の回折効率を高くするようにした回折光学素子に於いて、該複数の層を基盤側から順番に第i層とし、第1層と第2層の境界を第1の回折格子面、第2層と第3層の境界を第2の回折格子面、第L層と第L+1層の境界を第Lの回折格子面としたとき、偶数層は全域で均等な厚みを有する均等厚層より成り、該均等厚層を介して各回折格子が接合されていること。
請求項(抜粋):
少なくとも2種類の分散の異なる材質からなる層を複数基盤上に積層し、使用波長領域全域で特定次数(設計次数)の回折効率を高くするようにした回折光学素子に於いて、該複数の層を基盤側から順番に第i層とし、第1層と第2層の境界を第1の回折格子面、第2層と第3層の境界を第2の回折格子面、第L層と第L+1層の境界を第Lの回折格子面としたとき、偶数層は全域で均等な厚みを有する均等厚層より成り、該均等厚層を介して各回折格子が接合されていることを特徴とする回折光学素子。
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