特許
J-GLOBAL ID：200903027685668921
パターン検査装置およびパターン検査のためのマスタデータの作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡戸 昭佳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327815
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141420
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 多ピース品である対象物について,現実の検査によく適合した精度を有するマスタデータを効率よく作成して検査に供することができるパターン検査装置およびそのマスタデータの作成方法を提供すること。【解決手段】 プリント配線板の実物を撮像して得た仮マスタデータをピースに分割し,各ピースにおける同一のピース内位置のセルについて多数決をとり,多数派となったセル種を集成して基準ピースデータを作成する。そして,基準ピースデータと仮マスタデータの各ピースとを対比し,不一致セルを1つも有しない修正対象外ピースはそのまま確定マスタデータとする。不一致セルについては,不一致の種類が「過剰」であれば,その隣接範囲内における基準ピースデータを参照し,「マスタデータあり」のセルが1つも存在しない場合に限り,当該不一致セルのマスタデータを削除する(#707)。
請求項（抜粋）：
マスタデータとの対比により対象物の表面パターンを検査するパターン検査装置において,対象物の表面パターンを読み取って仮マスタデータを作成する仮マスタデータ作成手段と,前記仮マスタデータをピースに分割するピース分割手段と,前記ピース分割手段により分割された前記仮マスタデータについて,各ピースにおける同一のピース内位置のセルをセル種ごとに計数して当該ピース内位置の最頻セル種を決定する処理を各ピース内位置ごとに行い,各ピース内位置について決定された最頻セル種を当該ピース内位置に配置して基準ピースデータを作成する基準ピースデータ作成手段と,前記仮マスタデータの各ピースを前記基準ピースデータと対比して,すべてのセルのセル種が前記基準ピースデータにおける対応するセルのセル種と一致しているピースについてはそのピースのデータをそのままマスタデータとし,前記基準ピースデータにおける対応するセルのセル種と一致しないセル種のセル(以下,「修正候補セル」という)を含むピース(以下,「修正候補ピース」という)についてはそのピースのデータに修正処理を施してマスタデータとするマスタデータ修正手段とを有し,前記修正処理では,修正候補セルに隣接する所定の範囲のピース内位置における前記基準ピースデータを参照し,前記修正候補セルのセル種と同一のセル種のセルが発見された場合には修正を行わず,前記修正候補セルのセル種と同一のセル種のセルが発見されない場合には,前記修正候補セルのセル種を,前記基準ピースデータにおける対応するセルのセル種に変更する修正を行うことを特徴とするパターン検査装置。
Fターム (22件)：
2F065AA14
, 2F065AA23
, 2F065AA46
, 2F065BB02
, 2F065CC01
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065KK02
, 2F065MM02
, 2F065PP22
, 2F065QQ04
, 2F065QQ21
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ38
, 2F065RR07
, 2F065RR09
, 2F065SS03
, 2F065SS13
, 2F065UU05
