特許
J-GLOBAL ID:200903027697962981
マイクロ流体デバイスおよびマイクロ流体デバイスの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-175080
公開番号(公開出願番号):特開2005-007529
出願日: 2003年06月19日
公開日(公表日): 2005年01月13日
要約:
【課題】半永久的な一体化処理が不要なマイクロ流体デバイス、およびその製造方法を提供する。【解決手段】面10a及び面20aの全面に疎水化処理を施す。面10a及び面20aに対し、重ね合わせると流路2となる上側溝部11および下側溝部21を形成する。上側板状基材10の所定位置に、第1貫通穴12および第2貫通穴13を形成する。上側板状基材10と下側板状基材20とを重ね合わせて、上側圧接部材30および下側圧接部材40とボルト51とによって固定する。これにより、非可逆的な一体化工程を経ることなく、流体の漏出のないマイクロ流体デバイスを形成できる。好ましくは、板状基材はFe-Ni合金であり、表面偏析したBNにより疎水化を実現する。エッチングにて溝部を形成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の板状基材を積層してなるマイクロ流体デバイスであって、
前記複数の板状基材のうち、互いに接触する関係にある第1板状基材と第2板状基材とにおいて、
前記第1板状基材の表面のうち前記第2板状基材と接触する第1表面と、
前記第2板状基材の表面のうち前記第1板状基材と接触する第2表面と、
の少なくとも1つの表面に、前記第1と第2の板状基材とを積層したときにマイクロ流体デバイスの流路を規定する溝部、
を備え、
前記第1および第2表面において、同一流体種に対するぬれ性が前記溝部と前記流路の外部とで異なる、
ことを特徴とするマイクロ流体デバイス。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (11件):
4G075AA39
, 4G075BA10
, 4G075BD01
, 4G075BD16
, 4G075DA02
, 4G075EE03
, 4G075FA12
, 4G075FB02
, 4G075FB04
, 4G075FC09
, 4G075FC20
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