特許
J-GLOBAL ID：200903027701597568
基板の穴明検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴木 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-195957
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018734
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 基板の穴明け検査において、良品データ中に各穴毎の位置情報を用意することなく、位置ずれ検査を可能にして、検査の高速化、安価な装置構成を実現する。【構成】 多数の穴11のあけられた基板1をXYテーブル2上に載置する。システム制御装置9からの検査位置の指令を受けて、XYテーブル制御装置8がX及びY軸モータ6,7を介してXYテーブル2を駆動することにより、基板1上の所望検査位置がセンサ4の視野内に位置決めされる。画像処理装置5はセンサ4の画像情報を取り込み、各穴位置を求めた後、その隣合う穴間のピッチを算出し、該算出したピッチを基準ピッチと比較することで、位置ずれの有無を判定する。
請求項（抜粋）：
所望数の穴が設けられた基板の穴明検査方法において、前記基板上の穴群を検出し、該検出した穴群の各穴位置を求め、該求めた穴位置により隣合う穴間のピッチを算出し、該算出したピッチを基準ピッチと比較して位置ずれを検査することを特徴とする基板の穴明検査方法。
IPC (3件)：
G01B 21/00
, G01B 11/00
, G06F 15/62 405
