特許
J-GLOBAL ID：200903027702681538
膜厚測定方法およびシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
牛久 健司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-351252
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178433
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【目的】 ベース・フィルム層上に同時重層塗布により形成された第1層および第2層の膜厚を高精度に測定する。【構成】 相互に異なる中心波長λ1 ,λ2 をもつ光が投光装置10A,10Cからベース・フィルムにそれぞれ投射され,ベース・フィルムを透過した光が受光装置20A,20Cによってそれぞれ検出される。上記の2つの投射光が投光装置10A〜10Dから磁気記録媒体1にそれぞれ投射され,磁気記録媒体1を透過した光が受光装置20A,20Cによってそれぞれ検出される。透過光の強度を表すアナログ信号がAMP23A,23Cにより増幅され,A/DC24A,24Cによりディジタル・データに変換され,演算装置30に入力される。ベース・フィルムを透過した光の強度と,磁気記録媒体1を透過した光の強度に基づいて,演算装置30において,第1層の膜厚t1 および第2層の膜厚t2 が算出される。
請求項（抜粋）：
ベース・フィルム層上に磁性体層を含む1または複数の塗布層が形成された磁気記録媒体について,膜厚を測定すべき塗布層数に等しい数の投射光を用いて塗布層の膜厚を測定する方法であり,磁気記録媒体の表面および隣合う2つの層の境界面における投射光の反射に関する補正値を投射光ごとに測定し,相互に異なる中心波長をもつ塗布層数に等しい数の上記投射光の強度をそれぞれ測定し,塗布層数に等しい数の上記投射光を,膜厚を測定すべき塗布層を有する磁気記録媒体にそれぞれ投射し,この磁気記録媒体を透過した透過光の強度をそれぞれ測定し,これらの測定した投射光の強度と透過光の強度とに基づいて,上記ベース・フィルム層および上記塗布層をそれぞれ構成する物質の吸収係数と,上記の測定した補正値と,ベース・フィルムの膜厚とを用いて,塗布層の膜厚を算出する,膜厚測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/06 Z
, G06F 15/74 330 A
