特許

J-GLOBAL ID：200903027703044140

ボールグリッドアレーのボール又はフリップチップのバンプの高さと位置の検査方法

発明者： 身次 茂 ,  菅原 雅史 ,  鳥海 鉱倉
出願人/特許権者： 財団法人熊本テクノポリス財団 ,  株式会社大洋製作所 ,  株式会社丸進
代理人 (1件)： 藤盛 道夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-247100
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068609
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】 BGA又はフリップチップの多数のボール又はバンプの頂点の高さ及び位置の計測をきわめて高速にかつ高精度に行う検査方法を提供する。【解決手段】 BGA1のボール又はフリップチップのバンプの側面に画像用の反射手段(プリズム3)を配置し、該反射手段によりBGA1のボール2又はフリップチップのバンプの側面の画像を計測手段4に入力し、該画像を仮想平面10と該仮想平面10上の基準線11を基準として演算装置5により演算処理し、ボール2又はバンプの頂点の高さと位置のバラツキを検出し、良否を判定して成る。

請求項（抜粋）：

ボールグリッドアレー(BGA)のボール又はフリップチップのバンプの側面に画像用の反射手段を配置し、該反射手段によりBGAのボール又はフリップチップのバンプの側面の画像を計測手段に入力し、該画像を仮想平面と該仮想平面上の基準線を基準として演算処理し、ボール又はバンプの頂点と高さと位置のバラツキを検出し、良否を判定することを特徴とするボールグリッドアレー(BGA)のボール又はフリップチップのバンプの高さと位置の検査方法。

IPC (7件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/60 321 ,  H01L 21/66 ,  H01L 23/12 ,  H01L 21/321

FI (7件)：

G01B 11/02 H ,  G01B 11/00 C ,  G01B 11/24 C ,  H01L 21/60 321 Y ,  H01L 21/66 J ,  H01L 23/12 L ,  H01L 21/92 604 T