特許

J-GLOBAL ID：200903027704359870

エアロゾル洗浄装置

発明者： 宗像 昭彦
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-072122
公開番号（公開出願番号）：特開2000-262999
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】 エアロゾルによって洗浄された被洗浄物の表面に不純物が再付着するのを安定的に防止する。【解決手段】 バッファ室190内の凹凸を少なくし、洗浄室142を、その幅がウェハ10の幅に対して十分に大きなラバール形状とすると共に、前記バッファ室190と洗浄室142を、ゲートバルブを介することなく直接連結し、バッファ室190から洗浄室142に向けて、パージガス66を常時流す。

請求項（抜粋）：

バッファ室から洗浄室に搬入される被洗浄物の表面に、エアロゾルノズルから吹き出したエアロゾルを衝突させて被洗浄物の表面を洗浄するエアロゾル洗浄装置において、前記バッファ室内の凹凸を少なくし、前記洗浄室を、その幅が被洗浄物の幅に対して十分に大きなラバール形状とすると共に、前記バッファ室と洗浄室を、ゲートバルブを介することなく直接連結し、バッファ室から洗浄室に向けてパージガスを常時流すようにしたことを特徴とするエアロゾル洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 7/00 ,  B08B 7/04 ,  H01L 21/304 645

FI (3件)：

B08B 7/00 ,  B08B 7/04 Z ,  H01L 21/304 645 Z

Fターム (7件)：

3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB39 ,  3B116AB42 ,  3B116BB02 ,  3B116BB22 ,  3B116BB32

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 固体表面の洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-225238   出願人：エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド, インターナショナル.ビジネス.マシーンズ.コーポレイション