特許

J-GLOBAL ID：200903027717188099

干渉計

発明者： 末吉 正史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168141
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011307
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】光学部材の間に温度差が生じ、さらに空気の揺らぎが生じていても測定誤差を少なくする。【構成】光源手段1からの光を偏光分離する偏光分離面11aとこの面11aと直交する反射面11bを有する第1光学部材11を用いて、第1光学部材11と第1反射部材15とで2回反射された光束、及び第1光学部材11と第2反射部材16とで2回反射された光束とを受光し各反射部材の相対的な移動量を第1検出手段10aで検出する。これと同時に、第1光学部材11と第1反射部材15とで2回反射された光束、及び補正部材22を介して第1光学部材11と第1反射部材15とで2回反射された光束とを受光し空気の屈折率変化を第2検出手段10bで検出する。

請求項（抜粋）：

コヒーレントな光束を供給する光源手段と、該光束を第1光束と第2光束とに偏光分離する偏光分離面と該偏光分離面と直交する反射面を有する第1光学部材と、第1光学部材に対向して配置された第1反射部材と、前記偏光分離面を通過する第1光束が前記偏光分離面と前記第1反射部材との間を別光路でそれぞれ往復して前記偏光分離面を射出するように,前記第1光学部材と前記第1反射部材との間の各往復光路に設けられた第1及び第2の1/4波長板と、前記偏光分離面を射出する第1光束と前記偏光分離面を反射する第2光束とを再び前記偏光分離面に向けて偏向する偏向部材と、該偏向部材を介した第1光束を前記偏光分離面で反射させかつ該偏向部材を介した第2光束を前記偏光分離面で透過させるために,前記偏向部材と前記偏光分離面との光路間に配置された位相部材と、前記第1光学部材に対向して配置された第2反射部材と、前記偏光分離面を通過する第2光束が前記偏光分離面と前記第2反射部材との間を別光路でそれぞれ往復して前記偏光分離面を射出するように,前記第1光学部材と前記第2反射部材との間の各往復光路に設けられた第3及び第4の1/4波長板と、前記偏光分離面を反射する第1光束と前記偏光分離面を射出する第2光束とを受光して前記1反射部材と第2反射部材との相対的な移動量を検出する第1検出手段と、前記偏光分離面を射出する第1光束と前記偏光分離面を反射する第2光束を各々分割し,分割された第1光束を前記偏光分離面で反射させかつ分割された第2光束を前記偏光分離面で透過させるために,前記偏光分離面と前記偏向部材との間に配置された第2光学部材と、該第2光学部材を介して前記偏光分離面を通過する分割された第2光束が前記偏光分離面と前記第1もしくは第2反射部材との間を別光路でそれぞれ往復して前記偏光分離面を射出するように,前記第1光学部材と前記第1もしくは第2反射部材との間の各往復光路に設けられた第5及び第6の1/4波長板と、前記第1光学部材と前記第1もしくは第2反射部材との間の前記第5の1/4波長板を往復する光路中に設けられた第1補正部材と、前記第1光学部材と前記第1もしくは第2反射部材との間の前記第6の1/4波長板を往復する光路中に設けられた第2補正部材と、前記偏光分離面を反射する分割された第1光束と前記偏光分離面を射出する分割された第2光束とを受光して空気の屈折率の変化を検出する第2検出手段とを有することを特徴とする干渉計。