特許
J-GLOBAL ID:200903027722362242
感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
廣田 浩一
, 流 良広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-348747
公開番号(公開出願番号):特開2006-047952
出願日: 2004年12月01日
公開日(公表日): 2006年02月16日
要約:
【課題】 表面のタック性が小さく、ラミネート性等が良好で、保存安定性に優れ、露光感度が高く、現像後に優れた耐熱性等を発現し、高い表面硬度が得られる感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。 【解決手段】 共重合体1kg中の重合可能な架橋性ビニル基のモル数で表されるC=C密度が0.5〜3.2であり、無水マレイン酸共重合体の無水物基に対して0.1〜1.2当量の1級アミン化合物を反応させて得られる共重合体と、重合性化合物と、光重合開始剤と、を少なくとも含む感光性組成物、これを用いた感光性フィルム、永久パターン及びその形成方法である。前記共重合体が重合可能な官能基を側鎖に有するビニル単量体を少なくとも一種以上有する態様、前記1級アミン化合物が重合可能な官能基を有する態様などが好ましい。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)共重合体1kg中の重合可能な架橋性ビニル基のモル数で表されるC=C密度が0.5〜3.2であり、無水マレイン酸共重合体の無水物基に対し、1級アミン化合物の1種以上をアミンの合計が0.1〜1.2当量となるよう反応させた共重合体と、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。
IPC (4件):
G03F 7/038
, C08F 8/32
, C08F 290/12
, G03F 7/004
FI (4件):
G03F7/038 501
, C08F8/32
, C08F290/12
, G03F7/004 512
Fターム (67件):
2H025AA01
, 2H025AA06
, 2H025AA10
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC54
, 2H025BC81
, 2H025BC85
, 2H025CA00
, 4J100AB02P
, 4J100AK32Q
, 4J100AL03R
, 4J100CA05
, 4J100CA31
, 4J100HA61
, 4J100HC43
, 4J100JA38
, 4J127AA03
, 4J127AA06
, 4J127BA081
, 4J127BA121
, 4J127BB041
, 4J127BB081
, 4J127BB151
, 4J127BB161
, 4J127BB191
, 4J127BB301
, 4J127BC031
, 4J127BC061
, 4J127BC151
, 4J127BD021
, 4J127BD041
, 4J127BD061
, 4J127BE05X
, 4J127BE051
, 4J127BE11X
, 4J127BE111
, 4J127BE39X
, 4J127BE391
, 4J127BE43Y
, 4J127BE431
, 4J127BE47Y
, 4J127BE471
, 4J127BF51Y
, 4J127BF511
, 4J127BG05X
, 4J127BG05Y
, 4J127BG051
, 4J127BG16X
, 4J127BG16Y
, 4J127BG161
, 4J127BG17X
, 4J127BG171
, 4J127BG25Y
, 4J127BG251
, 4J127CB271
, 4J127CB372
, 4J127CC112
, 4J127FA17
, 4J127FA18
, 4J127FA30
, 4J127FA38
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特開昭61-243869号公報
-
特開平02-097502号公報
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