特許

J-GLOBAL ID：200903027729351025

球形センサ型計測装置

発明者： 村越 尊雄 ,  中村 茂 ,  益沢 功 ,  藤本 修一
出願人/特許権者： 株式会社トキメック
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120254
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310649
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 球形質量部と電極とを有する球形センサ型計測装置においてピックアップ係数が最大となる電極の形状を提供することを目的とする。【解決手段】 球形センサ型計測装置は、静電支持力によって浮上される球形質量部と、該球形質量部を囲むように配置された球面状の内面を有する電極とを有し、この電極は、互いに直交する3軸に沿って配置された6個の静電支持電極と該静電支持電極の間に配置された変位検出用電極とを含み、静電支持電極及び変位検出用電極の形状及び面積は、球形質量部の変位に対する変位検出用電極からのピックアップ電流が最大となるように設計されている。即ち、静電支持電極の面積の総和は変位検出用電極の面積に等しく、球形質量部を囲む球面状の内面の半分の面積に等しい。

請求項（抜粋）：

静電支持力によって浮上される球形質量部と、該球形質量部を囲むように配置された球面状の内面を有する電極とを有し、上記電極は、上記球形質量部に対して対称的に配置された複数の静電支持電極と該静電支持電極の間に配置された変位検出用電極とを含み、上記静電支持電極及び上記変位検出用電極の形状及び面積は、上記球形質量部の変位に対する上記変位検出用電極からのピックアップ電流が最大となるように設計されていることを特徴とする球形センサ型計測装置。

IPC (3件)：

G01P 15/13 ,  G01C 19/00 ,  G01P 15/14

FI (3件)：

G01P 15/13 ,  G01C 19/00 Z ,  G01P 15/14

Fターム (2件)：

2F105BB02 ,  2F105BB11