特許
J-GLOBAL ID：200903027729733475
電気的特性評価用ボード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-274397
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114632
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】 半導体基板上の各チップの電気的特性試験を行う,ウエハープローバのプローブカード,或いは,半導体デバイスの完成体の電気的特性試験を行うテスターのテストボードの構造に関し,微細,且つ,密植構造のプローブを可能とする電気的特性評価用ボードの開発を目的とする。【構成】 多層配線基板1とプローブ保持機構2とを有し,多層配線基板1の少なくとも中心部が, 非貫通型スルーホール3を有するセラミック系基板4からなり, プローブ保持機構2がプローブ5を埋め込んだ樹脂系基板6からなるように,また,プローブ5が, プローブ保持機構2より脱着可能な構造を有するように,更に,プローブ5が, プローブ保持機構2に密植されているように構成する。
請求項（抜粋）：
多層配線基板(1) とプローブ保持機構(2) とを有し,該多層配線基板(1) の少なくとも中心部が, 非貫通型スルーホール(3) を有するセラミック系積層基板(4) からなり,該プローブ保持機構(2) はプローブ(5) を埋め込んだ樹脂系基板(6) からなることを特徴とする電気的特性評価用ボード。
IPC (2件)：
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