特許
J-GLOBAL ID：200903027734558843
螢光X線分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316564
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132970
出願日： 1997年11月01日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 軽元素等を高い検出感度で分析することのできる螢光X線分析装置を提供する。【解決手段】 X線発生管3とX線ガイドチューブ4およびX線検出器5を内部に収納した本体容器1にガス導入口2を設けると共に、その底部6に小孔61を穿設し、前記ガス導入口2から前記本体容器1内に導入したHeガスを小孔61から試料8の表面に向けて噴出させつつ、小孔61を通過した一次X線31をHeガス雰囲気で包囲された試料8の表面に照射させ、発生した螢光X線32を小孔61を通してX線検出器5で検出する。
請求項（抜粋）：
X線発生管とX線ガイドチューブおよびX線検出器を内部に収納した本体容器にガス導入口を設けると共に、その底部に小孔を穿設し、前記ガス導入口から前記本体容器内に導入したHeガスを前記小孔から試料の表面に向けて噴出させつつ、前記小孔を通過した一次X線を前記Heガス雰囲気で包囲された試料表面に照射させ、発生した螢光X線を前記小孔を通して前記X線検出器で検出するように構成してなることを特徴とする螢光X線分析装置。
引用特許：
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