特許

J-GLOBAL ID：200903027738061501

弾性表面波素子

発明者： 小野 正明 ,  平沢 暢朗
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-135483
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335879
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 電気・機械結合係数が大であって且つ温度係数も小であるる弾性表面波共振子の実現と、該共振子による広帯域弾性表面波素子を提供すること。【構成】 Y板又は回転Y板で、弾性表面波伝播方向をX方向に設定したLiNbO3 基板にくし型電極を設け、その上をSiO2 膜で被覆した構造とする。このSiO2 膜は内部応力の無いもので、その厚さは共振波長の25%前後であると共に、共振子を作動させる弾性表面波がLOVE波になる値である。

請求項（抜粋）：

ニオブ酸リチウム(LiNbO3)単結晶基板に形成された弾性表面波素子であって、該LiNbO3 基板はY板又は回転Y板であって弾性表面波伝播方向がX方向であり、該LiNbO3 基板表面に形成された弾性表面波駆動/抽出用電極及び反射電極の膜厚は、該弾性表面波の伝播速度を横波バルク波の伝播速度より小とする厚さであり、該電極が形成された基板表面が、該弾性波の波長の15%〜35%の厚さを持つ無応力二酸化珪素で被覆されて成ることを特徴とする弾性表面波素子。