特許
J-GLOBAL ID：200903027740698916
基板有無検知装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-237651
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102484
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 基板の有無を検知するために特別の時間を必要とすることなく簡単な構成でカセット内の全ての棚における基板の有無を検知することが可能な基板有無検知装置を提供すること。【構成】 移動部材12は、複数の棚6cが配列されているカセット6の開口6aに対して進退自在である。フォトセンサ8は、カセット6内の棚6cに応じた配置間隔で移動部材12に固定され、移動部材12がカセット6の開口6c側に前進した場合に、各棚6c上の基板4の有無を検出する。したがって、搬送ロボットに搬送動作を開始させる前に予め搬送ロボットに基板の有無を検出させるための走査が必要でなくなる。したがって、このような走査によって搬送ロボットの本来の搬送動作が中断してロスタイムが生じるといったことを防止できる。
請求項（抜粋）：
カセット内における基板の有無を検知する基板有無検知装置において、基板収納位置が複数配列されているカセットの開口に対して進退自在である移動部材と、カセット内の各基板収納位置に応じた配置で移動部材に固定され、移動部材がカセットの開口側に前進した場合に、各基板収納位置における基板の有無を検出するセンサと、を有することを特徴とする基板有無検知装置。
IPC (2件)：
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