特許

J-GLOBAL ID：200903027745709339

ネガ型感光性樹脂組成物及びレジスト像の製造法

発明者： 粕谷 圭 ,  佐々木 守 ,  加藤 幸治 ,  中野 一 ,  鯉渕 滋 ,  橋本 通晰
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-301161
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146275
出願日： 1995年11月20日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 保存安定性に優れるネガ型感光性樹脂組成物及びこれを用いたレジスト像の製造法を提供する。【解決手段】 アルカリ水溶液可溶性樹脂、酸発生剤、アミノ樹脂及び溶剤を含み、水分含有率が0.15重量%以下であるネガ型感光性樹脂組成物並びにこのネガ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥後、露光又は活性放射線照射を行い、加熱し、次いでアルカリ水溶液で現像することを特徴とするレジスト像の製造法。

請求項（抜粋）：

アルカリ水溶液可溶性樹脂、酸発生剤、アミノ樹脂及び溶剤を含み、水分含有率が0.15重量%以下であるネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 568