特許

J-GLOBAL ID：200903027746634936

透明板の内部欠陥検査方法及びそのための試料台

発明者： 原口康史
出願人/特許権者： 日本電子株式会社 ,  日本電子ライオソニック株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257694
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109646
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 反射型の共焦点レーザ走査顕微鏡を用いて、透明板の内部に含まれるマイクロバブル、マイクロクラック、脈理等の微細な欠陥を大きさ、位置を含めて正確に検出する。【構成】 反射型共焦点レーザ走査顕微鏡10を用い、検査対象の透明板Gを顕微鏡10の光軸に垂直な面に対する傾きを調節可能に配置し、かつ、透明板Gの顕微鏡10とは反対側に透明板Gから離間して光散乱体又は光吸収体15を配置して、顕微鏡10を透明板Gの内部に焦点を合わせて、反射散乱光強度分布を検出することにより、簡単な構成で、微細な欠陥でも、透明板内の欠陥の位置、大きさ、種類を、その厚み方向の情報を含めて、正確に高感度で検出することがきる。

請求項（抜粋）：

透明板の内部に含まれるマイクロバブル、マイクロクラック、脈理等の欠陥を光学的に検査する方法において、反射型共焦点レーザ走査顕微鏡を用い、検査対象の透明板を前記顕微鏡の光軸に垂直な面に対する傾きを調節可能に配置し、かつ、前記透明板の前記顕微鏡とは反対側に前記透明板から離間して光散乱体又は光吸収体を配置して、前記顕微鏡を前記透明板の内部に焦点を合わせて反射散乱光強度分布を検出することを特徴とする透明板の内部欠陥検査方法。