特許
J-GLOBAL ID：200903027747912611
セラミック構造物作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
小山 有
, 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-169294
公開番号（公開出願番号）：特開2001-348658
出願日： 2000年06月06日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
要約：
【要約】【課題】 セラミック微粒子を含むエアロゾルを高速で基板に吹き付けてセラミック構造物を形成させるガスデポジション法において使用するエアロゾル発生器を提供する。またこのエアロゾル発生器を用いたセラミック構造物作製装置を提供する。【解決手段】 セラミックの一次粒子を多く含む、経時的に安定した量のエアロゾルを発生させるために、セラミック粉体とガス導入口の相対位置を変化させつつガスを粉体に吹きつけ、粉体の巻き上がり量を制御できるようにし、分級作用を持つ導出口を設置した。またこのエアロゾル発生器をガスデポジション装置に組み込むことにより、緻密質のセラミック構造物の形成を容易にした。
請求項（抜粋）：
セラミック微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基板に高速で噴射・衝突させてセラミック構造物を作製するセラミック構造物作製装置において、前記セラミック微粒子をガス中に分散させてエアロゾルを発生させるエアロゾル発生器とエアロゾルを噴射するノズルとを有し、前記エアロゾル発生器が前記セラミック微粒子の粉体を収容する容器と、前記セラミック微粒子の粉体の直上に近接させた、ガスを導入する導入部と、前記容器と前記導入部との相対位置を変動させる駆動部と、前記エアロゾルを導出する導出部を有することを特徴とするセラミック構造物作製装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 T
, C23C 24/04
4K029BA43
, 4K029BA53
, 4K029BA55
, 4K029BA58
, 4K029CA01
, 4K029DB05
, 4K029DB10
, 4K029DB15
, 4K044AB02
, 4K044BA12
, 4K044BA18
, 4K044BB01
, 4K044BB13
, 4K044CA23
, 4K044CA29
, 4K044CA71
出願人引用 (2件)
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リンを含んだガラス膜の形成方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-038172
出願人：日立電線株式会社, 株式会社日立製作所
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特開平4-065061
引用文献：
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