特許

J-GLOBAL ID：200903027760680851

六フッ化ウラン及び酸化性ガスを含む排ガスの処理方法

発明者： 尾上 毅 ,  村山 敏
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-235675
公開番号（公開出願番号）：特開平10-076137
出願日： 1996年09月06日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】 排ガス中の六フッ化ウランを再利用の容易な形態で連続的に安価に回収でき、廃棄物を発生させない。【解決手段】 200〜700°Cに加熱された反応装置10内に六フッ化ウラン及び酸化性ガスを含む排ガスと水蒸気と還元性ガスとを連続的に供給して反応装置内で六フッ化ウランと水蒸気とを反応させることによりUO2F2粉末とHFガスを生成する。生成したUO2F2粉末とHFガスを各別に連続的に回収する。シード粉としてUO2F2粉末が充填された流動層反応装置10を反応装置として使用する場合、反応装置の供給ノズル30より六フッ化ウラン及び酸化性ガスを含む排ガスを反応装置内に供給し、反応装置の分散板13を介して水蒸気及び還元性ガスを含むガスを流動用ガスとして反応装置内に供給する。

請求項（抜粋）：

200〜700°Cに加熱された反応装置(10)内に六フッ化ウラン及び酸化性ガスを含む排ガスと水蒸気と還元性ガスとを連続的に供給して前記装置(10)内で前記六フッ化ウランと前記水蒸気とを反応させることによりUO2F2粉末とHFガスを生成し、前記UO2F2粉末と前記HFガスを各別に連続的に回収する六フッ化ウラン及び酸化性ガスを含む排ガスの処理方法。

IPC (3件)：

B01D 53/68 ,  C01G 43/00 ,  C01G 43/06

FI (3件)：

B01D 53/34 134 C ,  C01G 43/00 Z ,  C01G 43/06 C