特許
J-GLOBAL ID：200903027767149965
有機超薄膜及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
東島 隆治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-339749
公開番号（公開出願番号）：特開平10-175267
出願日： 1996年12月19日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 基体と強固に結合し、かつ膜厚が数十nm前後から数百nm前後の有機超薄膜を提供する。【解決手段】 本発明による有機超薄膜は、基体に、M2-O-A-結合(ただし、Aはポリマー中の原子であり、Si、Ge、Ti、SnまたはZrを示す。M2は基体の原子を示す。)または配位結合によって固定されたポリマーからなり、前記ポリマーが、それぞれ-A1-O-A1’-結合(ただし、A1、A1’はSi、Ge、Ti、Sn、Zrまたは硫黄である。)または配位結合によって結合している有機超薄膜である。
請求項（抜粋）：
式(1)もしくは式(2)で示される官能基、または金属への配位可能官能基を1つ有するポリマーを、基体に接触させ、前記ポリマーを前記基体表面に固定する工程を含むことを特徴とする有機超薄膜の製造方法。【化1】(ただし、AはSi、Ge、Ti、SnまたはZrである。Xはハロゲン原子、アルコキシ基またはイソシアネート基である。)【化2】(ただし、Xはハロゲン原子である。)
IPC (2件)：
FI (2件)：
B32B 9/00 Z
, C09K 3/00 C
