特許
J-GLOBAL ID:200903027770066639

感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-127706
公開番号(公開出願番号):特開平11-327142
出願日: 1998年05月11日
公開日(公表日): 1999年11月26日
要約:
【要約】【課題】 感度を低下させることなく、硬調な画像形成性を示し、かつ、焼きぼけ、白灯安全性、および現像許容性の広い満足するべき、ポジ型感光性組成物を提供することにある。【解決手段】 少なくとも(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を側鎖に有する付加重合可能なモノマー、(2)9個以上の炭素原子を有する脂肪族基または2個以上の炭素原子を有する脂肪族基で置換された芳香族基を側鎖に有するアクリレート、メタクリレート、アクリルアミドもしくはメタアクリルアミド、および(3)カルボキシル基を有する付加重合可能なモノマーを共重合成分として有する高分子化合物と、ポジ作用感光性物質とを含有することを特徴とする。
請求項(抜粋):
少なくとも下記(1)、(2)および(3)で示される構成単位を共重合成分として有する高分子化合物と、ポジ作用感光性物質とを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を側鎖に有する付加重合可能なモノマー(2)9個以上の炭素原子を有する脂肪族基または2個以上の炭素原子を有する脂肪族基で置換された芳香族基を側鎖に有するアクリレート、メタクリレート、アクリルアミドもしくはメタアクリルアミド(3)カルボキシル基を有する付加重合可能なモノマー
IPC (4件):
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027
FI (4件):
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/30 502 R

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