特許

J-GLOBAL ID：200903027773037591

投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置

発明者： 高橋 友刀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203046
公開番号（公開出願番号）：特開2003-015040
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】 反射鏡の大型化を抑えるとともに、収差補正を良好に行うことのできる反射型の投影光学系。【解決手段】 6つの反射鏡(CM1〜CM6)を備え、第1面(4)の縮小像を第2面(7)上に形成する投影光学系。第1面の中間像を形成するための第1反射結像光学系(G1)と、中間像の像を第2面上に形成するための第2反射結像光学系(G2)とを備えている。第1反射結像光学系は、対向して配置された一対の凸面反射鏡(CM2,CM3)を含む。

請求項（抜粋）：

6つの反射鏡を備え、第1面の縮小像を第2面上に形成する投影光学系において、前記第1面の中間像を形成するための第1反射結像光学系と、前記中間像の像を前記第2面上に形成するための第2反射結像光学系とを備え、前記第1反射結像光学系は、対向して配置された一対の凸面反射鏡を含むことを特徴とする投影光学系。

IPC (5件)：

G02B 17/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 1/06 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 17/00 A ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 1/06 G ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (17件)：

2H087KA21 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  2H097AA02 ,  2H097AA03 ,  2H097CA11 ,  2H097CA15 ,  2H097CA17 ,  2H097EA12 ,  2H097GB00 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046GA03 ,  5F046GA06 ,  5F046GB01 ,  5F046GB07 ,  5F046GD10