特許

J-GLOBAL ID：200903027773750662

コンタクトアームおよびこれを用いた電子部品試験装置

発明者： 山下 毅 ,  清川 敏之
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-188981
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005990
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】ストローク管理および圧力管理を使い分けでき、傾き調整が容易で、しかもソケット配列や同測個数の変更にも柔軟に対応できるコンタクトアームを提供する。【解決手段】コンタクト部201に被試験ICを接触させるコンタクトアーム105dであって、被試験ICを保持する保持ヘッドD1と、コンタクト部201に対して接近および離反移動する駆動機構105cと保持ヘッドD1との間に設けられ、駆動機構に対して保持ヘッドを揺動可能に支持するフローティング機構C2,D2と、駆動機構と保持ヘッドとの間に設けられ、駆動機構から保持ヘッドに対する相対的押圧力を調整するダイアフラムシリンダD3と、を有する。一つの保持ヘッドD1に対して複数のダイアフラムシリンダD3が設けられている。

請求項（抜粋）：

コンタクト部に被試験電子部品を接触させるコンタクトアームであって、前記被試験電子部品を保持する保持ヘッドと、前記コンタクト部に対して接近および離反移動する駆動機構と前記保持ヘッドとの間に設けられ、前記駆動機構に対して前記保持ヘッドを揺動可能に支持するフローティング機構と、前記駆動機構と前記保持ヘッドとの間に設けられ、前記駆動機構から前記保持ヘッドに対する相対的押圧力を調整する流体圧シリンダと、を有する電子部品試験装置用コンタクトアーム。

FI (2件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 31/26 Z

Fターム (6件)：

2G003AA07 ,  2G003AD01 ,  2G003AF05 ,  2G003AG01 ,  2G003AG11 ,  2G003AG16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子部品試験装置用吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-305676   出願人：株式会社アドバンテスト
• 特開平1-212448