特許

J-GLOBAL ID：200903027776896811

3次元形状検査装置

発明者： 溝口 清和 ,  中池 孝昇 ,  田畑 亜紀 ,  守屋 正人
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-102931
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311025
出願日： 1994年05月17日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】被計測物体の形状検査にかかる時間を大幅に短縮し得る高速の3次元形状検査装置を提供することを目的とする。【構成】この発明では、分散配置された複数の計測点で得られた高さデータを用いて予め概ねの形状が既知の被計測物体のピーク高さを検査する3次元形状検査装置において、被計測物体の計測対象領域を特定する領域特定手段と、前記特定された領域に含まれる計測点の計測値に基づき被計測物体のピーク高さを近似推定する近似推定手段とを備えるようにしている。

請求項（抜粋）：

分散配置された複数の計測点で得られた高さデータを用いて予め概ねの形状が既知の被計測物体のピーク高さを検査する3次元形状検査装置において、被計測物体の計測対象領域を特定する領域特定手段と、前記特定された領域に含まれる計測点の計測値に基づき被計測物体のピーク高さを近似推定する近似推定手段と、を備えるようにした3次元形状検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/02 ,  G01C 3/06 ,  G06T 7/00 ,  H05K 3/34 512

FI (2件)：

G06F 15/62 405 Z ,  G06F 15/62 415