特許

J-GLOBAL ID：200903027778515173

位置決めテーブル制御装置

発明者： 大石 伸司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-073117
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246359
出願日： 1996年03月05日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 電流アンプが飽和してしまうような過大な指令値が発生した場合でも、制御系が発振することをなくし、信頼性を高める。【解決手段】 テーブル1の位置決め先である目標位置の位置指令を発生する位置指令発生手段11と、テーブルの現在位置を検出する位置検出手段7,10と、テーブルを駆動するモータ3〜5と、前記目標位置と現在位置とに基づいてモータへ供給すべき電流の指令値を発生する電流指令発生手段12,13と、電流指令値に応じた電流をモータへ供給する電流アンプ14とを備えた位置決めテーブル制御装置において、電流指令値と実際のモータ電流値との偏差信号Vdを、位置または電流指令値にフィードバックする手段を設ける。

請求項（抜粋）：

テーブルの位置決め先である目標位置を示す位置指令を発生する位置指令発生手段と、テーブルの現在位置を検出する位置検出手段と、テーブルを駆動するモータと、前記目標位置と現在位置とに基づいてモータへ供給すべき電流の指令値を発生する電流指令発生手段と、電流指令値に応じた電流をモータへ供給する電流アンプとを備えた位置決めテーブル制御装置において、電流指令値と実際のモータ電流値との偏差信号を、位置または電流指令値にフィードバックする手段を設けたことを特徴とする位置決めテーブル制御装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 15/26 ,  B23Q 16/02 ,  G03F 9/00 ,  G05D 3/12 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 K ,  B23Q 15/26 ,  B23Q 16/02 B ,  G03F 9/00 G ,  G05D 3/12 A ,  H01L 21/30 515 B