ボールステップゲージのボール間隔測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院計量研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172294
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004333
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】従来の三次元測定機の校正用ボールステップゲージは、できる限り正確な三次元測定機を用いてボールステップゲージを測定し、校正を行っていたが、現在の最高精度の三次元測定機を用いても必ずしもその精度は十分ではなかった。【解決手段】上板21の下方に3個の球体23からなる3球球面座を設け、ボールステップゲージの第1のボール5に載置する。このとき、上板21の下方の2個の円筒棒25がボール5’に載置され、また、上板21の下方に突出した小球26を、ボールステップゲージの枠体を構成しているボール5,5’の軸線と平行な面に当接させてローリング防止を行い、6点支持とする。上板21の両側にミラー支持腕30を設け、各々にねじ38を用いた位置調整手段を介してミラー32を固定する。このミラーに対して公知の光干渉計測装置から光を当て、その位置を正確に測定し、この操作を順に行い、各ボールの間隔を測定する。

請求項（抜粋）：

ボールステップゲージの2個のボールからなる1組にボールステップゲージ測定用光波干渉ステッパを馬乗的に載置し、該光波干渉ステッパのローリングを防止して1意的に位置決めされた左右2個の反射鏡の位置を光波干渉測定することにより、ボールステップゲージのボール間隔を測定することを特徴とするボールステップゲージのボール間隔測定方法。

IPC (4件)：

G01B 11/14 , G01B 5/00 , G01B 9/02 , G01B 21/20 101

FI (4件)：

G01B 11/14 G , G01B 5/00 P , G01B 9/02 , G01B 21/20 101 Z

Fターム (41件)：

2F062AA02 , 2F062AA10 , 2F062AA21 , 2F062AA24 , 2F062BB09 , 2F062BC80 , 2F062DD21 , 2F062EE04 , 2F062EE09 , 2F062EE63 , 2F062FF03 , 2F062GG75 , 2F062MM06 , 2F064AA04 , 2F064BB01 , 2F064CC04 , 2F064GG12 , 2F065AA02 , 2F065AA17 , 2F065AA22 , 2F065BB07 , 2F065DD03 , 2F065FF52 , 2F065LL12 , 2F065QQ00 , 2F069AA02 , 2F069AA06 , 2F069AA13 , 2F069AA34 , 2F069CC08 , 2F069DD19 , 2F069FF00 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG39 , 2F069GG63 , 2F069HH30 , 2F069JJ06 , 2F069MM02 , 2F069MM26 , 2F069RR05

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