特許
J-GLOBAL ID：200903027779121608
微少漏れ検査装置および微少漏れ検査の方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-249150
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085461
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】微少漏れの原因となる容器の部品組み付け部分に着目して負圧変化を測定することにより、短時間且つ正確に微少漏れ検査が行えるようにする。【解決手段】容器1の溶接部3を覆うように検査ヘッド4のシール部5を容器1に吸着させる。容器1に実際に使用する圧力と同程度の圧力の空気を注入して封止する。図示しない真空ポンプによって圧力変化測定空間6の空気を図の矢印の方向に吸引し、圧力変化測定空間6を例えば100mmHg(133.3×102Pa)程度の負圧にする。真空ポンプを止め、負圧式エアーテスタによって例えば数秒間圧力変化測定空間6の負圧を測定する。負圧の変化値が所定の値以下であれば溶接部3からの漏れはないと判定する。圧力変化測定空間6の容積は容器1の容積の数%程度であるので、極めて短時間で容器1の漏れ測定を行うことができ、且つ負圧であるので温度変化の影響を受け難い。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液体または気体を収納する容器における微少漏れの有無を検査する微少漏れ検査装置であって、
被検査体である前記容器の部品組み付け部分を含む微少空間を密閉状に覆うように圧力変化測定空間を形成した検査ヘッドと、
前記検査ヘッドに形成された貫通孔を介して、前記圧力変化測定空間に充填された気体の圧力を測定する気体圧力測定手段と
を備えたことを特徴とする微少漏れ検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2G067AA02
, 2G067AA16
, 2G067BB03
, 2G067BB04
, 2G067CC04
, 2G067DD02
