特許

J-GLOBAL ID：200903027780480778

基板端面洗浄装置

発明者： 谷口 由雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-279135
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086556
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】 自重による基板にたわみを低減させ、基板と洗浄ノズルが衝突もしくは擦れることを防止する。【解決手段】 基板1の中心部付近を基板吸着チャック2により支持した状態で、基板周辺部を洗浄可能とした基板端面洗浄装置であって、基板吸着チャック2の外周部の支持位置を基板端面から30mmの範囲に配置した。これにより、自重による基板1にたわみを低減させ、基板1と基板周辺部を洗浄する洗浄ノズル3等が衝突もしくは擦れることを防止することができる。これにより、基板1と洗浄ノズル3が衝突もしくは擦れることにより破損した基板1を除去もしくは破損した洗浄ノズル3を修理するために装置の稼働を停止させることをなくすことができ、基板端面洗浄装置の稼働率を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

基板の中心部付近を基板吸着チャックにより支持した状態で、基板周辺部を洗浄可能とした基板端面洗浄装置であって、前記基板吸着チャックの外周部の支持位置を基板端面から30mmの範囲に配置したことを特徴とする基板端面洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 643 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

H01L 21/304 643 A ,  B08B 3/02 A ,  H01L 21/306 R ,  H01L 21/306 D

Fターム (10件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB47 ,  3B201BB22 ,  3B201BB44 ,  3B201BB92 ,  3B201BB95 ,  5F043CC20 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08