特許
J-GLOBAL ID：200903027781231658
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-120640
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312506
出願日： 1992年05月13日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】探針の形状や傾きに依存することない安定した試料観察の行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】探針11の評価を行なう際、試料12に代えて既知の断面形状を有している標準試料を配置する。この標準試料に対して、パターンの底に届くほど鋭い先端を有する探針を用い、標準化された一定の走査パラメーターで1ライン分の走査を行ない、基準断面曲線を得る。この基準断面曲線は基準データファイル26に保存する。次に同じ走査パラメーターに従って評価対象で探針で標準試料を1ライン分走査して、測定断面曲線を得る。このようにして得られた測定断面曲線は選択切換回路24を経て演算回路25に転送される。演算回路25は、標準データファイル26から基準断面曲線を読み込み、測定断面曲線と比較する。
請求項（抜粋）：
探針を試料表面に沿って走査して試料の凹凸像を得る走査型プローブ顕微鏡であって、走査型プローブ顕微鏡は探針を評価する評価手段を有し、評価手段が、既知の凹凸パターンを有する標準試料を所定の探針で走査して基準断面曲線を得る手段と、標準化された所定のパラメータに従って評価の対象である探針で標準試料を走査して測定断面曲線を得る手段と、基準断面曲線と測定断面曲線とを比較演算する手段とを備えている走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
