特許

J-GLOBAL ID：200903027785414960

荷電ビーム制御方法および制御装置

発明者： 橋本 進 ,  安藤 厚司 ,  長野 修
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-012697
公開番号（公開出願番号）：特開2002-216690
出願日： 2001年01月22日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】 偏向による光学収差ぼけや電子ビーム形状寸法誤差を補正した高精度の荷電電子ビーム制御方法とその制御装置を提供すること。【解決手段】 極子レンズ11、12、18、19により形成されたマルチポール場を通過する荷電ビーム2の軌道途中で、制御電圧を独立に制御できる回転対称型のラウンド式電子レンズ16を用いて偏向荷電ビームの条件に応じて各エレクトロードへの電圧を制御することにより荷電ビーム2を制御する。

請求項（抜粋）：

荷電ビーム発生源から発生した荷電ビームを縮小投影手段としてマルチポールが形成されている極子レンズを光軸に沿って多重に用いて制御する荷電ビームの制御方法において、前記極子レンズにより形成されたマルチポール場を通過する荷電ビームの軌道途中で、制御電圧を独立に制御できる回転対称型のラウンド式電子レンズを用いて偏向荷電ビームの条件に応じて各エレクトロードへの電圧を制御することにより前記荷電ビームを制御することを特徴とする荷電ビーム制御方法。

IPC (3件)：

H01J 37/12 ,  H01J 37/153 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/12 ,  H01J 37/153 B ,  H01L 21/30 541 B ,  H01L 21/30 541 E

Fターム (8件)：

5C033CC02 ,  5C033JJ05 ,  5F056AA01 ,  5F056BA01 ,  5F056CB29 ,  5F056CB32 ,  5F056CB33 ,  5F056EA05