特許

J-GLOBAL ID：200903027785732368

IC試験のフェイルメモリ解析装置

発明者： 内山 浩人
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-301227
公開番号（公開出願番号）：特開平11-134897
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 圧縮率を指定せずにフェイルメモリの全体表示ができ、拡大表示の度に試験を実施することなく高速表示の可能なIC試験のフェイルメモリ解析装置を提供する。【解決手段】 被試料IC条件を被試料IC条件記憶部40に与えて全体表示を指示すると、全体表示起動部44は圧縮率算出部48に適正な圧縮率を算定させて圧縮率記憶部42に記録する。被試料IC条件と圧縮率を用いてIC試験部10に試験させて圧縮試験結果をフェイルメモリ11に記録し、全体表示制御部46aがその内容を表示メモリ47に転送する。無圧縮試験起動部49から無圧縮を指定してIC試験部10に試験させ、試験結果をフェイルメモリ11に記録する。全体表示制御部46aは表示メモリ47を用いて全体表示部32に全体表示を行い、拡大表示が指示されると、拡大表示制御部45aがフェイルメモリ11から指定のあった拡大範囲部分を抽出して拡大表示部31に表示させる。

請求項（抜粋）：

被試料ICが有するメモリ領域の試験結果を記録して表示手段上に表示させるIC試験のフェイルメモリ解析装置において、前記被試料ICに関する所定の条件に基づいて、前記被試料ICの全メモリ領域に対する無圧縮の試験結果を圧縮して前記表示手段上に表示させる際の圧縮率を算出する圧縮率算出手段と、前記被試料ICの全メモリ領域の試験結果を圧縮した圧縮試験結果が記憶される圧縮試験結果記憶手段と、前記被試料ICの全メモリ領域について試験を行い、該試験により得られた前記無圧縮の試験結果を前記圧縮率に従って圧縮して前記圧縮試験結果記憶手段へ記録する圧縮試験手段と、前記圧縮結果記憶手段に記憶された前記圧縮試験結果を前記表示手段上に表示させる全体表示手段とを具備することを特徴とするIC試験のフェイルメモリ解析装置。

IPC (2件)：

G11C 29/00 655 ,  G01R 31/28

FI (2件)：

G11C 29/00 655 C ,  G01R 31/28 B