特許

J-GLOBAL ID：200903027786113041

表面検査装置

発明者： 佐藤 清吾
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-223027
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055634
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】簡易な構成による、所定のパターン上に配置された配置物の配置状態を検査する表面検査装置を得る。【解決手段】検査対象上のパターンのみを照明する位置に配置された第1の照明手段24と、パターン上に配置された配置物のみを照明する位置に配置された第2の照明手段27とを設け、第1の照明手段24と第2の照明手段27と切り換えて点灯するようにした。

請求項（抜粋）：

所定の検査対象の表面に設けられた配置パターン上に配置された配置物の配置状態を判定する表面検査装置において、上記検査対象に対して、上記配置パターンのみを照明する位置に配置された第1の照明手段と、上記検査対象に対して、上記配置物のみを照明する位置に配置された第2の照明手段と、上記検査対象を撮影する撮影手段と、第1の照明手段を点灯して上記パターンにおける上記配置物が配置されていないパターン露出部のみを上記撮影手段を用いて撮影し、当該撮影結果に基づいて上記パターン露出部の面積を算出するとともに、第2の照明手段を点灯して上記配置物のみを上記撮影手段を用いて撮影し、当該撮影結果に基づいて上記配置物の面積を算出し、上記パターン露出部面積と上記配置物面積の比に基づいて、上記配置物の配置状態を検出する制御手段とを具えることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  H05K 3/34 512

FI (2件)：

G01B 11/24 C ,  H05K 3/34 512 A

Fターム (23件)：

2F065AA56 ,  2F065AA58 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ26 ,  2F065SS04 ,  5E319BB05 ,  5E319CD26 ,  5E319CD51 ,  5E319GG09