特許
J-GLOBAL ID:200903027788810750
硬質脆性板の振動スクライブ方法及び装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西 孝雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-011270
公開番号(公開出願番号):特開2004-224592
出願日: 2003年01月20日
公開日(公表日): 2004年08月12日
要約:
【課題】ガラス板その他の硬質脆性板を割断する際に用いるスクライブ方法及び装置に関し、高精度の制御を行うことなく、空気付圧装置を用いたワーク表面のうねりに対する回転カッタの円滑な追従性と、回転カッタの振動による深い垂直クラックの生成とを同時に実現する。【解決手段】回転カッタ29を硬質脆性板の表面に空気圧により押圧すると共に、テーブル2に回転カッタ29の押圧方向と略同方向の振動を加える。好ましい装置は、硬質脆性板を定置する矩形のテーブルの四隅を圧電振動子を備えた加振装置を介して基台ないし移動台に固定する構造である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
テーブル(2)上に定置した硬質脆性板(1)の表面に回転カッタ(29)を押圧走行させることにより、当該回転カッタの走行軌跡に沿って前記硬質脆性板に微小垂直クラックを生成する硬質脆性板のスクライブ方法において、前記回転カッタを硬質脆性板の表面に空気圧により押圧すると共に、テーブル(2)に回転カッタ(29)の押圧方向と略同方向の振動を加えることを特徴とする、硬質脆性板の振動スクライブ方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (9件):
3C069AA02
, 3C069AA03
, 3C069BB04
, 3C069BC02
, 3C069CA11
, 3C069EA02
, 4G015FA03
, 4G015FB01
, 4G015FC11
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