特許

J-GLOBAL ID：200903027796912619

静電容量式センサ

発明者： 近江 俊彦
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139480
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323939
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 センサ信号の外部取り出しを非接触な方法により行なうことで、静電容量式圧力センサの信頼性を向上する。【構成】 単結晶シリコンウエハよりエッチングにより、枠内全面に揺動自在にダイヤフラム4を支持させたフレーム3を作製する。ダイヤフラム4に可動電極5を、その外周に額縁状の接続用電極6を形成し、パッド7,7にそれぞれ接続する。また、ダイヤフラム4が弾性変形できるようにダイヤフラム4より広い窪み8を形成したカバー2を作製する。カバー2の深い窪み8aに、可動電極5と微小なギャップを隔てて固定電極9を形成し、浅い窪み8bにさらに微小なギャップを隔てて接続用電極6に対向して固定電極9と導通した接続用電極10を形成する。カバー2とフレーム3を接合して、可動電極5及び固定電極9よりなる検知用コンデンサC1と接続用電極6,10よりなる接続用コンデンサC2とを直列に接続した圧力センサ1を作製する。

請求項（抜粋）：

弾性を有する検知部を支持基板に支持させ、前記支持基板のいずれか一方の面に固定基板を接合し、前記検知部に設けた可動電極と対向させて前記固定基板の内面に固定電極を設け、前記可動電極及び前記固定電極により検知用コンデンサを構成した静電容量式センサにおいて、前記固定基板若しくは前記支持基板のいずれか一方の基板上に一対の外部取り出し電極を設け、当該基板上の固定電極若しくは可動電極と前記外部取り出し電極のいずれか一方とを電気的に接続し、前記固定基板と前記支持基板との間を電気的に接続する接続用コンデンサを前記両基板間に形成し、この接続用コンデンサを前記検知用コンデンサと直列に接続させ、前記接続用コンデンサの他端を残る一方の前記外部取り出し電極に接続したことを特徴とする静電容量式センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 ,  H01L 29/84