特許

J-GLOBAL ID：200903027800233942

真空漏れ試験装置

発明者： 井上 正史 ,  木暮 澄夫 ,  真島 正 ,  河合 賢一 ,  吉田 洋司
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-152979
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005202
出願日： 1995年06月20日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】手軽に精度の良い検査を行えるようにすることにある。【構成】真空箱10内に漏れを定量化する複数の小型音響センサ6を格子状に配列し、音響センサ前面に円錐形の集音板70を配置した真空漏れ試験装置で信号処理して作成された漏れ位置分布図と照合出来るように基準位置マ-キング装置40を備えた、原寸大で欠陥位置を図示したシートを出力する。このシートをマーキングを基準として被検査体にあてがい、欠陥穴を認識する。

請求項（抜粋）：

真空箱内に設けた複数の音響センサと、該音響センサが集音した音を判定して前記真空箱内の欠陥の位置をシートに図示して出力する出力装置と、からなり、該出力装置は、前記欠陥位置を原寸大で前記シートに図示すること、を特徴とする真空漏れ試験装置。