X線ラインセンサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-225645
公開番号（公開出願番号）：特開2000-056028
出願日： 1998年08月10日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】X線を高効率で蛍光に変換して高いセンサ感度を得られるとともに高分解度を有するX線ラインセンサを提供する。【解決手段】対象物2を透過したX線3を蛍光7に変換するX線-蛍光変換部13と、蛍光7を電荷に変換して画像信号を得る撮像部14とを備える。撮像部14は、複数の撮像素子20を直線状に配置した構成とする。X線-蛍光変換部13は、所定の溝幅eの溝部18が一定間隔で平行に形成された基板17の表面に、X線3を蛍光7に変換するX線蛍光物質9が所定の膜厚に成膜した構成とする。X線-蛍光変換部13を、X線蛍光物質9の成膜方向uが撮像素子20の配列方向vおよびX線3の入射方向wに対し共に直交するよう配置して撮像部14に対設する。

請求項（抜粋）：

対象物を透過したX線を蛍光に変換するX線-蛍光変換部と、前記蛍光を電荷に変換して画像信号を得る撮像部とを備えたX線ラインセンサにおいて、前記撮像部は、複数の撮像素子が直線状に配置されてなり、前記X線-蛍光変換部は、所定の溝幅の溝部が一定間隔で平行に形成された基板の表面に、X線を蛍光に変換するX線蛍光物質が所定の膜厚に成膜して形成されているとともに、前記X線蛍光物質の成膜方向が前記撮像素子の配列方向および前記X線の入射方向に対し共に直交するよう配置して前記撮像部に対設されていることを特徴とするX線ラインセンサ。

IPC (2件)：

G01T 1/20 , G01N 23/04

FI (2件)：

G01T 1/20 B , G01N 23/04

Fターム (19件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001BA14 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA08 , 2G001DA10 , 2G001GA05 , 2G001GA12 , 2G001HA12 , 2G001HA13 , 2G001HA20 , 2G001JA04 , 2G001KA03 , 2G001SA01 , 2G001SA04 , 2G088EE29 , 2G088GG19 , 2G088JJ04

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭62-076478
特開平2-232977
特開昭61-080097

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