特許
J-GLOBAL ID：200903027807653041
周囲温度の対象物を結像するための走査単電子トランジスタ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-587199
公開番号（公開出願番号）：特表2002-532690
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：
【要約】コンピュータチップ等の対象物を走査するためのシステム、方法およびコンピュータプログラム製品が提供される。近接場走査単電子トランジスタ(SET)を用いて、対象物のフィーチャーを検出する。SETは、対象物の周囲の電界または対象物が発する電界内の変化を検出する。電界内の変化は、チップの回路内の開放といった、対象物内の異常と関連付けられ得る。SETは電界内の異常を検出する。SETを動作させるために十分低温を保持する。本明細書中の発明の記載において、対象物は、対象物の通常の周囲温度の範囲で放置され得る。チップは典型的には、室温を含む周囲温度範囲で動作する。電界内の異常を示すSETからのデータは、読出しデータを得るために用いられ得、読出しデータは対象物の画像を生成するために用いられ得る。
請求項（抜粋）：
対象物が発する電界における変化を感知するシステムであって、該対象物の温度は、該対象物の周囲温度の範囲内であり、該システムは、 動作温度で保持される単電子トランジスタ(SET)であって、該対象物が発する電界に応答して、該トランジスタを通じて電流がゲーティングされる、トランジスタと、 該SETを含む冷却フィンガーと、 読出しポイントであって、該読出しポイントから、該電界の強度に関連する読出しデータへのアクセスが可能である、読出しポイントと、を備えるシステム。
IPC (2件)：
G01R 29/08 ZAA
, H01L 21/66
G01R 29/08 ZAA F
, H01L 21/66 T
4M106CA08
, 4M106CA40
, 4M106DH45
, 4M106DJ04
, 4M106DJ05
, 4M106DJ11
