特許
J-GLOBAL ID：200903027822413995
半導体圧力変換器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053424
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265427
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 高精度かつ極めて容易に零点温度補償を行う。【構成】 フルブリッジ回路を構成する感圧抵抗11〜14とほぼ同じ平均導電率およびほぼ同じ抵抗温度特性を有する拡散抵抗で構成される固定抵抗15〜17と可変抵抗18,19からなる零点調整回路を、フルブリッジ回路の正入力端子1と負入力端子3と負出力端子4に接続する。感圧抵抗11〜14、固定抵抗15〜17、可変抵抗18,19の抵抗パターンの幅を同一とすることで、製造工程での各抵抗間の抵抗値の相対的変化を抑える。さらに、その固定抵抗15〜17の抵抗値をフルブリッジ回路を形成する感圧抵抗11〜14の抵抗値の5倍以上の大きさに定め、可変抵抗18,19は抵抗値の異なる複数の拡散抵抗を接続して組み合わせた抵抗回路とし、その接続部をウェハ状態で切断して可変抵抗18,19の抵抗値を調整する。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶基板の中央部に薄肉のダイアフラム部を形成し、このダイアフラム部の表面に拡散抵抗からなる4個の感圧抵抗でフルブリッジ回路を形成し、前記シリコン単結晶基板の裏面に台座を接着した半導体圧力変換器であって、前記シリコン単結晶基板の表面の零歪部に、前記感圧抵抗とほぼ同じ平均導電率およびほぼ同じ抵抗温度特性を有する拡散抵抗で構成される少なくとも3個の固定抵抗と少なくとも1個の可変抵抗からなる零点調整回路を、前記フルブリッジ回路の2個の入力端子と1個の出力端子または1個の入力端子と2個の出力端子に接続したことを特徴とする半導体圧力変換器。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
