特許
J-GLOBAL ID：200903027834926823
液体噴射記録ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-135983
公開番号（公開出願番号）：特開平8-300669
出願日： 1995年05月09日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：
【要約】【目的】 感光性樹脂製のノズル層の液流路の断面寸法等が設計値からずれるのを防ぐ【構成】 吐出エネルギー発生素子11を有する基板10に感光性樹脂のノズル層20を積層しフォトリソグラフィによって液流路21をパターニングする。その上に感光性樹脂の共通液室層30を積層し、同じくフォトリソグラフィによって共通液室31をパターニングする。共通液室31をパターニングする工程で、液流路21の空気を窒素と置換し、液流路21の雰囲気に酸素を含まない状態で共通液室層30を露光する。
請求項（抜粋）：
吐出エネルギー発生手段を有する基板に第1の感光性樹脂層を積層し、フォトリソグラフィによって前記第1の感光性樹脂層に液流路をパターニングしたうえで第2の感光性樹脂層を積層し、フォトリソグラフィによって前記第2の感光性樹脂層に共通液室をパターニングする工程を有し、該共通液室をパターニングするフォトリソグラフィにおいて、前記液流路の雰囲気に前記第2の感光性樹脂層の硬化を妨げる成分を含まない状態で前記第2の感光性樹脂層を露光することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
