蒸着装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：矢野敏雄 , 山崎利臣 , 久野琢也 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト , ラインハルト・アインゼル
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-400238
公開番号（公開出願番号）：特開2004-183100
出願日： 2003年11月28日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】基板の、垂直方向に整列された範囲に蒸着を施すための蒸着装置であって、溶融るつぼ2に充填された材料を溶融し、蒸発させるための加熱装置を備えており、溶融るつぼ2から垂直方向に流出する蒸気を基板に向かって水平方向に変向するための変向装置を有している形式のものを改良して、溶融るつぼから流出し、鉛直方向に上昇する蒸気が、粒子のこん棒状の分配を伴って変向され、これにより、一様な分配が生じるようにし、固定粒子が蒸発器から被覆すべき基板に達することができないようにする。【解決手段】変向装置が、溶融るつぼ2に上方から載置された、上側で閉鎖可能なノズル管3として形成されており、該ノズル管3が、周面に水平方向の蒸気出口8を有しており、かつ溶融るつぼ2の加熱装置11から独立した加熱装置10を有しているようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の、垂直方向に整列された範囲に蒸着を施すための蒸着装置であって、直立した溶融るつぼ(2)が配置されており、該溶融るつぼ(2)が、溶融るつぼ(2)に充填された材料を溶融し、蒸発させるための加熱装置を備えており、前記蒸着装置が、溶融るつぼ(2)から垂直方向に流出する蒸気を基板に向かって水平方向に変向するための変向装置を有している形式のものにおいて、変向装置が、溶融るつぼ(2)に上方から載置された、上側で閉鎖可能なノズル管(3)として形成されており、該ノズル管(3)が、周面に水平方向の蒸気出口(8)を有しており、かつ溶融るつぼ(2)の加熱装置(11)から独立した加熱装置(10)を有していることを特徴とする、基板の、垂直方向に整列された範囲に蒸着を施すための蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C14/24

FI (1件)：

C23C14/24 A

Fターム (4件)：

4K029DB12 , 4K029DB13 , 4K029DB17 , 4K029EA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

ドイツ連邦共和国特許公告第1796166号明細書
米国特許第4,880,960号明細書

審査官引用 (3件)

特公平1-060546
Mgの蒸発方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-254829 出願人：日新製鋼株式会社
特公平1-060546

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