特許
J-GLOBAL ID：200903027841703228
電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-222993
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069349
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【目的】試料に電子線による損傷を与えずに検鏡および撮影が可能な電子顕微鏡を提供する。【構成】電子顕微鏡1,試料4に照射した電流量を測定する電流計16と、電子線照射される視野のアドレスを検出するための位置検出器17と、試料が電子線により損傷を受けない最大許容電子線照射量を入力するコントロールユニット20とを設け、電子線照射時の加速電圧と、常時一定視野に照射される総電子線照射量とを算出し、試料4のアドレスと、アドレスでの総電子線照射量と最大許容電子線照射量とを比較し、総電子線照射量が最大許容電子線照射量に一致すると、アドレスでの電子線照射を中止するよう電子顕微鏡1のバイアス電圧電源12に指示するCPU18と、総電子線照射量の表示計19を設ける。
請求項（抜粋）：
電子線を試料に照射する照射手段と、照射した前記電子線により前記試料から二次的に発生する信号により前記試料の構造を観察・記録する手段と、ある一定視野に照射を開始した時点からの単位面積あたりの電子線照射量の積算値を測定する手段と、前記一定視野の照射開始時からの単位面積あたりの電子線照射量の積算値に制限を与える手段を備えた電子顕微鏡において、電子線が照射される視野のアドレスと、前記アドレスに対し電子線照射時の加速電圧と単位面積あたりの総電子線照射量を記憶する記憶手段とを備え、再度同じアドレスに戻った場合、前記記憶手段により、記憶された前記総電子線照射量に新たに加わる電子線量を加算し記憶する積算機構を備え、同一アドレスにおける単位面積あたりの前記総電子線照射量を制限することを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/04 A
, H01J 37/20 D
