特許

J-GLOBAL ID：200903027843128514

偏向磁石

発明者： 丸下 元治
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234198
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068099
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 発生する磁場の磁束密度の向上を図り得る偏向磁石を提供する。【解決手段】 真空チェンバ14を挟んで上下に対峙する一対の磁場発生体20を備え、両磁場発生体20間に磁場を発生させる偏向磁石において、真空チェンバ14に正対し且つ真空チェンバ14に沿って延びる中間部磁心21を、永久磁石22で真空チェンバ曲率半径方向に挾持したうえ、各永久磁石22の反中間部磁心寄りの面に、側部磁心23を当接させ、各中間部磁心21の真空チェンバ寄りの突出部分を取り囲むようにコイル24を巻き付けて、それぞれの磁場発生体20を構成し、所定値の電流をコイル24に通電した際に両中間部磁心21の間に生じる磁場の磁束密度の向上を図る。

請求項（抜粋）：

横向きに湾曲する真空チェンバに沿って延び且つ該真空チェンバを挟んで上下に対峙する一対の磁場発生体を備え、両磁場発生体間に磁場を発生させて真空チェンバ内を進行する電子の軌道を曲げ得る偏向磁石において、真空チェンバに正対し且つ真空チェンバに沿って延びる中間部磁心を、該中間部磁心の真空チェンバ寄り部分が突出するように、真空チェンバに沿って延びる永久磁石で真空チェンバ曲率半径方向に挾持したうえ、各永久磁石の反中間部磁心寄りの面に、真空チェンバに沿って延びる側部磁心を当接させ、各中間部磁心の真空チェンバ寄りの突出部分を取り囲むようにコイルを巻き付けて、それぞれの磁場発生体を構成し、当該磁場発生体を真空チェンバに対して近接離反させ得る位置設定手段を設けたことを特徴とする偏向磁石。

IPC (3件)：

H05H 13/04 ,  G21K 1/093 ,  H05H 7/04

FI (3件)：

H05H 13/04 E ,  G21K 1/093 Z ,  H05H 7/04

Fターム (5件)：

2G085AA13 ,  2G085BA14 ,  2G085BC01 ,  2G085BC04 ,  2G085BC05