特許
J-GLOBAL ID:200903027843696571
全反射蛍光X線分析装置
発明者:
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
杉本 修司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-023187
公開番号(公開出願番号):特開平7-209216
出願日: 1994年01月24日
公開日(公表日): 1995年08月11日
要約:
【要約】【目的】同一試料について多くの元素を容易かつ迅速に分析することができる全反射蛍光X線分析装置を提供することを目的としている。【構成】格子面間隔の異なる複数の分光素子(人工多層膜格子)1A〜1Cを移動手段10によって移動させるだけで、X線源5と試料台7の位置を移動させることなく、一次X線B2の試料2への所定の入射角αを得ることができる。
請求項(抜粋):
X線を発生するX線源と、上記X線を回折させて単色化した一次X線を試料表面に向かって微小な所定の入射角で入射させる分光器と、上記試料表面に対向し上記一次X線を受けた試料からの蛍光X線を検出するX線検出器とを備え、このX線検出器での検出結果に基づいて上記蛍光X線を分析する全反射蛍光X線分析装置において、上記分光器は、格子面間隔の異なる複数の分光素子と、これら分光素子を移動させることにより所望の一次X線に対して上記所定の入射角を得る移動手段とを備えたことを特徴とする全反射蛍光X線分析装置。
引用特許:
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