特許
J-GLOBAL ID：200903027854136845
ウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086231
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283600
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 検出機構全体のサイズの空間的効率を向上させ、検知センサの検出精度を向上させること、【解決手段】 本発明のウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出装構1は、ウエハ検知センサ6を搭載し移載ロボット2と独立して上下移動するセンサ台7と、モータ9、モータドライバ10,モータ・コントローラ11およびウエハを検知したときモータ・コントローラからウエハ高さ位置に相当するデータを受け、このデータに基き移載ロボット2をウエハに対応する位置に移動させる操作信号を発する主制御コントローラ12を具備し、ウエハ検知センサ6が移載ロボット2と独立して上下移動する構成であるため、コンパクトにまとめることができ、また、ウエハ高さ位置検出とウエハ移載の同時実行が可能である。さらに、独立したウエハ検知センサ6は、検出性能の高い透過形センサを採用でき、高精度なウエハ高さ位置検出が可能である。
請求項（抜粋）：
複数のウエハを複数段に収納し固定設置された前後開放形のウエハキャリアに対し、上下移動可能な移載ロボットがそのロボットアームによってウエハを上記ウエハキャリア内に出し入れ操作可能に配置されたウエハ移載装置において、上下移動機構により上記移載ロボットと独立して移動し上記ウエハキャリア内のウエハの高さ位置を検知するウエハ検知手段と、このウエハ検知手段の上下移動により所定のウエハを検知したときのウエハ検知手段の移動量からウエハの高さ位置情報を登録し、この高さ位置情報に基づき上記移載ロボットを検知されたウエハ高さ位置に移動させる駆動量を算出し、この駆動量を上記移載ロボットの駆動系に送って駆動させる主制御コントローラとを具備したウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出機構。
FI (2件)：
H01L 21/68 F
, H01L 21/68 A
