特許

J-GLOBAL ID：200903027856999492

形状計測装置

発明者： 清 水 保 弘
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177041
公開番号（公開出願番号）：特開平6-018235
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 散乱光の散乱パターンや被測定物の表面状態に依存せず、高精度に被測定物の形状を計測することができる形状計測装置を提供する。【構成】 形状計測装置は、載置された被測定物(7)を回転する回転テーブル(6)と、この回転テーブル(6)を回転させて選択した被測定物面上の被測定位置(8)に光ビーム(5)を照射し、散乱した散乱光を検出する光ヘッド(1)と、光ビーム(5)が照射される軸方向に光ヘッド(1)を進退させて光ヘッド(1)の位置と被測定位置(8)との相対距離を変化させる位置変化手段(9)と、相対距離を変化させて検出した散乱光の強度が最大になるときの光ヘッド(1)の位置座標を演算するとともに、この演算された光ヘッド(1)の位置座標と回転テーブル(6)の回転位置座標とから被測定位置の座標を演算する座標演算手段(10)とを備えている。

請求項（抜粋）：

被測定物に光ビームを照射し、散乱した散乱光を検出して被測定物の形状を計測する形状計測装置において、載置された被測定物を回転する回転テーブルと、この回転テーブルを回転させて選択した被測定物面上の被測定位置に光ビームを照射し、散乱した散乱光を検出する光ヘッドと、光ビームが照射される軸方向に前記光ヘッドを進退させて前記光ヘッドの位置と前記被測定位置との相対距離を変化させる位置変化手段と、前記相対距離を変化させて検出した散乱光の強度が最大になるときの光ヘッドの位置座標を演算するとともに、この演算された光ヘッドの位置座標と前記回転テーブルの回転位置座標とから前記被測定位置の座標を演算する座標演算手段とを備え、前記光ヘッドは前記散乱光を集光する集光レンズと前記散乱光を検出する検出素子との間に、前記相対距離が所定距離のときに前記散乱光を最大に前記検出素子へ通過させるピンホールを有することを特徴とする形状計測装置。