特許
J-GLOBAL ID：200903027860056608
電子素子部材およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275761
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114749
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】太陽電池を構成する金属電極と基板との接合の密着性を高めることを目的とする。【構成】また、酸化物基板と金属電極との接合をTiOx層またはCrOx層を介して行うことにより、酸化物基板と金属電極との密着性を高めた。この場合、基板との接合面におけるのxの値は、TiOxについては、0.5≦x≦2、CrOxについては0.5≦x≦1.5であることが好ましい。なお、基板との接合面以外の位置においてはxの値は任意である。【効果】金属電極層と基板との接合の密着性が高まり、耐久性および信頼性に優れ、しかも積層に起因する光電変換率の低下が極めて少ない素子を得ることができる。
請求項（抜粋）：
酸化物に覆われた面を有する基板と、該基板の酸化物に覆われた面上に形成された、Ti、Cr、TiOx、CrOxからなる群より選ばれた少なくとも一の材料を含む中間層と、該中間層上に設けられた金属層と、を有することを特徴とする電子素子部材。
FI (2件)：
H01L 31/04 M
, H01L 31/04 E
